与此同时，蔡晋对于这台中端光刻机，也有了了解。
激光器、光束矫正器、能量控制器、光束形状设置、遮光器、能量探测器、掩膜版.....全部都达到了全国最前沿的技术水平。
另外，掩膜台的运动控制精度达到纳米级，物镜、量台、曝光台、内部封闭框架、减振器等物，也都是目前国内最先进的产品。
而光刻机的光源，也不再是之前的深紫外光，而是成了13.5nm的软x射线，也就是极紫外光。
最重要的是，它直接实现了，60nm芯片的生产制造！
而要知道，整个中国能做60nm芯片的企业，不超过三家，而且全是在2018年下半年才刚刚突破的技术，还是在实验室里！
现在，顶多算是小规模适量产。
可是如今，他却拥有了一台可以量产60nm芯片的光刻机。
这么一台光刻机，可以造上数百片12寸的圆晶！
可以说，这是一个突破，了不起的突破，如果把这里发生的事情，宣布出去，足以震惊整个中国，乃至于京城都要被惊动！
毕竟中国在半导体行业，被压了太多年了！
从上个世纪以来，就一直跟在西方国家的屁股后面跑，说是向人家乞讨技术也不为过。
中国太想在半导体领域实现逆袭，让半导体领域不再被卡脖子。
不过，这还不是蔡晋的目标！
如果止步于此，顶多算是勉强够用而已，还谈不上先进！
他要搞出，比asml的high-naeua光刻机更先进的顶端光刻机。
high-naeua光刻机的最小工业节点到了22nm~7nm，而他的目标，是22nm~1nm！
然后，将各种型号的光刻机，都卖出白菜价，搞死这些高高在上的巨头们！
反正他搞出的光刻机，再怎么样，也会比这些巨头生产光刻机要便宜得多！
而且，他也不靠光刻机、光刻胶赚钱吃饭，他真正赚钱的，是仿生机器人，是全固态锂电池！