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第六十八章 横空出世(1)

“黄司,通过我们专家组15名成员的一致检查,神光仪器公司研发的X射线光刻机符合申请材料描述的情况。”专家组组长高兴的说道。

黄安国心里面的大石终于落下,他高兴得有些手足无措的走来走去,过了一会之后才平复下激动的心情。

“我们去见黄总工。”

思维社总部。

黄安国等人一下车便急匆匆来到二楼。

“黄司长,这些天检测得如何?”

“我们的专家组已经检验完毕,准生证过几天就下来。”黄安国说完拿起茶杯喝了一大口。

呼!

“这些真是麻烦各位了,我就以茶代酒。”黄明哲微笑拿起茶杯说道。

“黄总工客气了,都是分内之事。”专家组组长也不敢居功自傲。

黄安国迫不及待的继续说道:“黄总工,神光仪器的光刻机可以量产了没有?”

“量产当然是要量产的,不过暂时没有订单,我们这个生意也是看锅下米。”黄明哲笑着回道。

众人也明白这个情况,毕竟光刻机这种东西一看就不是便宜货,总不能生产之后放仓库等人来买吧!

这要是有什么意外,或者不可抗力,岂不是烂在自己手里。

“那不知道X射线光刻机的售价是多少?”黄安国接着问道。

“15亿一台。”黄明哲脸不红心不跳的说道。

15亿?这个价格只能说高,但是可以接受,毕竟阿斯麦公司的顶级光刻机也是1.2亿美刀左右,关键是人家不卖给华国公司。

而神光仪器的光刻机在精度上可以通用10~2纳米,这就是一个巨大的优势。

和阿斯麦今年刚刚量产的顶级极紫外光光刻机进行比较。

阿斯麦顶级光刻机:光源——极紫外光(波长13.7纳米),可以进行调整设备,实现13.7~7纳米光刻工艺,生产效率是每小时加工10块300毫米的晶圆(硅片)。

神光X射线光刻机:光源——X射线(波长8纳米),可以进行调整设备,实现10~2纳米光刻工艺,生产效率是每小时加工150块200毫米的晶圆(硅片)。

为什么神光X射线光刻机的硅片用200毫米(8寸片),倒不是不能使用300毫米(12寸片),主要是国内目前可以大规模量产的硅片,以200毫米为主。

从硅片加工速

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