mems从原理上讲，与led相比，起步并不晚。
其相关概念，在1959年，就被一个叫做理查德费曼的人，在他的著名演讲底部有很多空间里提出了。他在那次演讲上，预测了半导体微型马达的存在。为此，他还提供了1000美元的悬赏。
要知道，那可是1959年的1000美元。
在过去的30年间，陆陆续续有很多科学家和科研机构，投入人力物力，对此进行研究，也取得了一些进展。1988年第一次出现的微马达，就是这种努力的结果之一。
但这些相关研究，并没有被系统性的总结起来。
大多数成果，甚至包括大火的微马达，实际都是以半导体加工工艺，半导体材料，甚至机械的身份出现。
为了与其他半导体工艺，产品，有所区分，过去的几年间，整个业界进行了大讨论。最终，mems这个词，于1992年2月份，美国盐湖城举行的ieee会议上，被提出，并最终达成共识。
也就是说，mems，作为一个有意义的专属名词，刚刚在这个世界上，出现不过7个月的时间而已。
所以，陈泉查资料的时候，用mems去索引，是很难查到太多信息的。
如果是有经验的研究员，遇到这种情况，会通过相关论文后面的引用论文，一层层的追溯上去，把落在其他科目下的论文，资料，一一找到。
这些工作，陈泉不是不能做，但需要查阅的资料太多了。
每篇论文后面的引用论文，至少二十篇起。几篇论文追索上去，需要翻阅的文章，就成了天文数字。
另外，论文，期刊的查阅，需要通过图书馆工作人员进行，工大在半导体方面又不是很强，很多期刊没有订阅，论文链很快就会被断掉。
通过论文链手工查询，实际是一个几乎不可能完成的任务。
......
“这样不行。只靠我们两个，成不了事情。”
曲燕秋听完陈泉介绍的情况，摇了摇头。“别的不说，这么多科目，都要自学，我不知道有外来记忆的你会怎么样，反正我是绝对没有可能了。”
虽说曲燕秋的逻辑思维能力，有了一定增强，但总的来说，还是一个普通人，尤其在学习新知识方面。
“是。我也没有信心了。”
陈泉点头。
看得越多，知道得越多，就会