式的优点在于功耗低、响应时间短,宜于完成较高频率的驱动,而且静电驱动的结构比较易于实现。
科学界对静电驱动的原理,研究得最透彻。1988年的微马达,就是基于静电驱动原理。
热胀冷缩方式,功耗比较高,响应速度也不算快,但胜在结构最简单,优点和缺点,同样突出。
电磁方式的优点是有很高的输出转矩,既可以吸引也可以排斥,是一种比较有前途的驱动方式。它的缺点也非常明显,那就是结构复杂。因为,为了产生电磁力,需要制造微米级别的线圈缠绕。
在陈泉展示出照片之前,甚至只有理论,没有人见过实例。
逆压电模式,是人类最早研究的一种模式,因为压电传感器,在mems这个名字出现之前,就已经进入应用阶段了。
逆压电模式的优点很明显,压电和逆压电可以同时存在,执行器和传感器合二为一。
但通过逆压电来驱动,需要的电压极高,高到以1000伏为单位,在微米尺度,别的不说,处理好绝缘,难度就已经非常大了......
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一般来说,每一种驱动方式,都需要大量的探索和研究。
很多科研工作者,在选择驱动方式的时候,只能随机选择一种自己最有感觉的。
科研方向的选择过程,其实跟赌博没有两样。选择一旦出现失误,投入越大,损失就越大。
但现在,四个方向,四种不同结构和原理的镊子,四个成功的路径,同时出现在了世人面前。
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如果说,陈泉的第一把镊子,把mems送上了新闻的风口,占了天时,那么这次拿出的四把镊子......